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楼主: courage

[原创]搞微流体的人不多啊?

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发表于 2010-1-16 22:22:07 | 显示全部楼层

回复 15# 通流 的帖子

DRIE 要用很贵的仪器。。。   如果我这里有这个仪器,我也想试一试。。。

用DRIE 做的喷管,最大深度应该在 300 microns,其实微型喷管的深度越深越好。。。

还有 silicon 是热导体,热能的散出会减低微型喷管的 efficiency。
发表于 2010-1-16 22:38:11 | 显示全部楼层
DRIE的设备不便宜。不过,这个300microns的最大深度是哪来的?如果DRIE加上bonding,2mm的深度也没有问题。
发表于 2010-1-16 22:53:47 | 显示全部楼层

回复 17# 通流 的帖子

当去到一定的深度, etching rate 就会减低, wall 也会不直,对吗?300,我是从一份 AIAA journal 获知的。

顺便想问一问,用 DRIE, nozzle throat 最小可以到多少 micron?
发表于 2010-1-16 23:03:28 | 显示全部楼层
假如300micron的话,宽度可以最小到十几个micron。如果宽度是50micron的话,可以把硅片刻穿。wall可以是直的,只是表面不太光滑。

别信AIAA Journal上面的胡说八道。你想知道具体情况的话,我可以帮你打听打听。
发表于 2010-1-16 23:21:16 | 显示全部楼层

回复 19# 通流 的帖子

突然有个怪想法。。。 DRIE 可以 etch ceramic 吗?  毕竟在高温操作环境下,ceramic 是较适合的 material。
发表于 2010-1-16 23:36:12 | 显示全部楼层
DRIE包含了化学反应。换材料,就得换刻蚀的化学品。并不是很容易的。刻碳化硅早就有,就是刻的速度太慢,所以没有普遍采用。你如果能想出办法,能提高刻蚀速度的话(大概要提高一到二个数量级),那你马上就成名了。不知氧化硅与碳化硅是不是类似。

[ 本帖最后由 通流 于 2010-1-16 23:38 编辑 ]
发表于 2012-5-10 19:47:22 | 显示全部楼层

有关微尺度流动

本人是搞微尺度流动,主要涉及生物、化学、医药、力学即计算数学方面的交叉领域,有兴趣的可以相互讨论一下哦
发表于 2012-8-20 22:55:52 | 显示全部楼层

回复 11# 通流 的帖子

版主,我打算用微流体分析海啸对结构的作用,不知道从哪里下手啊?求指点一下。
发表于 2013-5-10 15:21:43 | 显示全部楼层
DIRE深刻蚀设备我们有韩国的,目前还有一些德国LTF微流产品。
发表于 2014-3-19 09:58:57 | 显示全部楼层

微流体研究方向

我近期刚刚研究微流体方向,请给积极讨论,希望这个方向的人越来越多
发表于 2014-4-4 22:34:58 | 显示全部楼层
微流体中,可研究的东西并不多。关键是找到应用。
发表于 2018-1-31 10:15:44 | 显示全部楼层
刚开始了解这一块,想请教诸位有没有微流体观测,参数测定这一块的文献和资料啊
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