Si(g)----Si(s)表面沉积反应

strayberry

在表面反应这一章节，Fluent帮助中提到Si(g)生成Si(s)的例子，但是没有看到具体说明。不知道大家有没有做过或者见过这个例子吗？想参考下这个例子。
哪位有的给我说下吧，多谢 。

cjs8468

原帖由 strayberry 于 2009-5-6 09:14 发表

                               
登录/注册后可看大图

在表面反应这一章节，Fluent帮助中提到Si(g)生成Si(s)的例子，但是没有看到具体说明。不知道大家有没有做过或者见过这个例子吗？想参考下这个例子。
哪位有的给我说下吧，多谢 。

在fluent6.2帮助文件里有个CVD反应器模拟，涉及到点类似的问题，你找看一下吧.希望能有帮助！