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查看: 1973|回复: 8

求助薄膜生长的问题

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发表于 2010-9-6 09:18:50 | 显示全部楼层 |阅读模式

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大家好，我想用fluent模拟在蓝宝石衬底上生长薄膜，能否计算一定时间后的薄膜厚度，或者在旋转的情况下同一点不用时刻的生长速率，请大家不吝赐教，谢谢
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xrs333
发表于 2010-9-6 12:21:47 | 显示全部楼层
是流动问题？或者与流动有什么关系？
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cjs8468
发表于 2010-9-6 12:34:54 | 显示全部楼层

回复 1# 543331539 的帖子

可能要用瞬态模拟 用稳态可能不行吧
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发表于 2010-9-6 12:52:47 | 显示全部楼层

回复 1# 543331539 的帖子

surface-reaction ?
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 楼主| 发表于 2010-9-6 21:32:05 | 显示全部楼层

回复 2# xrs333 的帖子

谢谢您的回复，在这个模型中，反应物在矩形反应器中流动，依靠粒子的扩散在衬底上生长薄膜，由于沉积导致粒子不断消耗，使得衬底前端薄膜厚度大于后端，我希望能模拟出这种区别，或者依靠衬底旋转轮流接受高浓度和低浓度，谢谢
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 楼主| 发表于 2010-9-6 21:32:41 | 显示全部楼层
是的，谢谢您的回复
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 楼主| 发表于 2010-9-6 21:33:28 | 显示全部楼层

回复 4# flytofire 的帖子

是的，谢谢您的回复
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 楼主| 发表于 2010-9-6 21:34:03 | 显示全部楼层

回复 3# cjs8468 的帖子

升哥？
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发表于 2010-9-7 09:17:12 | 显示全部楼层

回复 5# 543331539 的帖子

surface reaction可以模拟出你的问题
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