請問CVD的模擬計算!!

o0919090028 · 发表于 2010-9-13 16:57:40

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問題:
有一個3D直立式CVD腔體,上方進氣,下方出口
中間有一wafer(如圖)
氣體組成98%argon2%acetone
入口速度10SLM,入口溫度300K,壓力1大氣壓
wafer溫度900K,

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要算wafer的Nu和Sh
麻煩大大解答
如何設定Fluent

swimming02 · 发表于 2010-9-13 17:06:47

采用组分输运模型

o0919090028 · 发表于 2010-9-14 15:35:36

謝謝!!
我是新手還不是很懂!!
可以麻煩在講明白點嗎??
謝謝

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